VIEW Benchmark 624 的移动桥式结构和光学可使被测组件始终保持静止状态
X,Y,Z行程 (mm)：624 x 624 x 150，0.5 μm 选项：624 x 624 x 200
X,Y,Z 光栅尺分辨率：0.5 μm，选项： 0.1μm
工作台驱动系统：直流伺服马达XYZ,单一Y轴驱动和Y轴光栅尺
双Y-轴驱动及Y轴光栅尺
速度：X,Y - 200mm/秒; Z - 100 mm/秒
承载量：50 kg 均匀分布在玻璃平台上
100 kg l均匀分布在坐标轴上
光学系统：双重放大视场可交换式前置镜头，VIEW2.5X标配镜头
单一倍率，工作安装背光和视场交换式前镜产学研，标配为VIEW 1X变焦管
和2.5X镜头
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