Pinnacle+Plus

X,Y,Z 行程 (毫米)：250 x 150 x 50

X,Y,Z 光栅尺分辨率：XY - 0.05 μm, 零膨胀材料，Z - 0.01μm, 零膨胀材料

平台驱动系统：无摩擦高速线性马达驱动 X&Y, 直流伺服马达驱动 Z

速度：X,Y - 100 mm/sec   /   Z - 25 mm/sec

承载量：25 kg

光学系统 ：单倍放大, 工厂安装背光的镜头和视场交换式前透镜标配为VIEW 1X 背管，5X镜头

计量软件

可选项: Elements

可选项Measure-X