900 x 1500 x 150
1250 x 1500 x 150
1500 x 1500 x 150
1250 x 2000 x 150
1500 x 2000 x 150
Y-axis - 2000 mm
Z-axis – 200 mm
X,Y,Z 光栅尺分辨率:0.5 μm
平台驱动系统:直流伺服马达 X,Y,Z
X,Y,Z 行程 (mm)
442179358
